深圳市威亚工程塑料有限公司

Semitron® 半导体工程塑料
    发布时间: 2021-03-31 14:52    

产品特性

Semitron® 半导体级产品的研发，是为了帮助设计者和使用客户来优化元件制造设备的性能。另外，在元件制造时，涉及到要求高耐磨、耐化学和抗静电的特殊应用，Semitron® 半导体级产品都是理想选材。

Semitron®主要分两个系列，分别适用于元件操作和测试过程，以及下一代CMP制程。


Semitron® 半导体工程塑料

先进聚合物材料

Semitron MP 370材料用在半导体制造行业，为精密测试座（socket）的设计和制作提供了更多选择性。Semitron MP 370不仅有PEEK固有的极好吸湿性和耐高温性，而且具有更高的强度和尺寸稳定性。因这款订制配方材料的机加工性能卓越，因此可以做到更为精细和干净地加工。


  • •极低的吸湿性
  • •优秀的机加工性能，可实现极小而紧密的孔模
  • •强度和刚度超越了未填充的PEEK材料
  • •内应力低和无模塑坯件的"软心"问题

Semitron MDS 100非常好地综合了强度、刚度和稳定性的特性。它的开发旨在用于不受控制或者高精密度要求的应用场合。Semitron MDS 100是半导体测试座（socket）、嵌套（nest）、夹具和封装设备的理想选材。

  • •24小时只有0.10% 的吸湿率（ASTM D570）
  • •耐温至210°C
  • •弹性模量 > 1,400,000 psi

抗静电聚甲醛

Semitron ESd 225是硬盘驱动器制造过程中所用夹具的理想选材；也是硅晶圆工艺操作时的理想选材。它的颜色为褐色。

  • •表面电阻率：1010 - 1012 ohms/sq.
  • •耐温至107°C
  • •良好的耐磨性能

抗静电PEI

Semitron ESd 410C用在芯片检测制程中操作芯片，使其通过检测设备。它的颜色为黑色，不透明。

  • •表面电阻率：104 - 106 ohms/sq.
  • •耐热至210°C
  • •应力低，紧公差加工适用
  • •较高的强度和刚度

Semitron ESd 420是唯一一款真正可用于高温环境的抗静电塑料产品。

  • •表面电阻率：106 - 109 ohms/sq.
  • •热性能好
Semitron ESd 420V的表面电阻率为106 - 109 ohms/sq 。它是一种坚硬、高强度的材料，暴露在潮湿环境中，不会发生尺寸变化。在对热性能要求不是超高的情况下，Semitron ESd 420V是一款高性价比的替代选材。

抗静电PEEK

SEMITRON® ESD 480
此款抗静电PEEK的表面电阻率为106 - 109 ohms/sq。Semitron ESd 480的尺寸稳定性非常高，因此成为临界测试夹具的理想选材。它的耐化学性绝佳，极适用作晶片传送，和湿制程用工具的结构件，而这些应用中，静电耗散也是非常重要的。作为跨骏Semitron ESd 材料，Semitron ESd480容易被介电击穿。

SEMITRON® ESD 490HR
具有稍高电阻率的PEEK材料，其物理性能与Semitron ESd 480相似。

  • •表面电阻率：1010 - 1012 ohms/sq.

抗静电PTFE

SEMITRON® ESD 500HR
采用专有合成云母增强，Semitron ESd 500HR提供了绝佳的低摩擦特性和尺寸稳定性。凡是使用 PTFE的场合，都可考虑Semitron ESd 500HR 。用于控制静电排放时，它是理想的选材。颜色为白色。
  • •表面电阻率：1010 - 1012 ohms/sq.
  • •热至260°C
  • •隔热
  • •极低的摩擦系数
  • •可耐化学品广泛

抗静电PAI

SEMITRON® ESD 520HR

Semitron ESd 520HR是行业内第一款集静电耗散(ESd)、高强度和耐热性于一体的材料。该种新型的ESd材料用在测试设备上，是加工嵌套（nest）、测试座（socket）和接触器（contactor）的理想选材，也是其他元件操作部件的理想选材。520HR在高压（>100V）下能抗介质击穿，这是它的独特及关键特性。下图呈现的是：通常用在自动测试分类机上，塑料材料表现的电性能。甚至只是暴露于中等电压下，传统碳纤维增强产品的导电性也呈现不可逆转的增强。

在机械性能都可以胜任的情况下，只有Semitron ESd 520HR在整个电压范围内能够维持其电性能。

表面电阻率：1010 - 1012 ohms/sq.

静电耗散（表面电阻率，ohms/sq.）
Semitron® ESd 225 1010 - 1012
Semitron® ESd 410C 104 - 106
Semitron® ESd 420 106 - 109
Semitron® ESd 500HR 1010 - 1012
Semitron® ESd 520HR 1010 - 1012

Semitron® CMP材料

Semitron CMP产品系列的研发，为新工具设计者和具有远大目光的终端使用者提供了这样的机会——增加单个晶圆可生产芯片的成功率，同时降低了每个芯片的生产成本。

SEMITRON® CMP LL5
CMP优化的PET-P

Semitron CMP LL5属于下一代材料，专为尽可能大幅度提高CMP工具的性能而研发。它的颜色为白色，不透明。

  • •超长寿命材料--5倍于 PPS
  • •在CMP应用场合，温度达到 60°C 时的理想选材
  • •氧化化学反应中性能最佳--8倍于 PPS
SEMITRON® CMP XL20
CMP优化的PAI

Semitron CMP XL20是由三菱化学先进材料研发团队开发的顶级CMP材料，它的颜色为炭黑色，不透明。

  • •大大降低单片晶圆的成本
  • •性能超越PPS，在大多数工序中达到20倍
  • •高强度和刚度，带来更少的边缘损坏和更佳的一致性